投影物鏡、工件臺(tái)以及光源是光刻機(jī)的三大核心子系統(tǒng)，具有至關(guān)重要的作用。2001年，ASML推出的雙工件臺(tái)系統(tǒng)，大大提升了光刻機(jī)的產(chǎn)能。據(jù)悉，單工件臺(tái)生產(chǎn)率為80片/時(shí)，而雙工件臺(tái)則達(dá)到了270片/時(shí)。
ASML的這一行動(dòng)，引起了清華大學(xué)機(jī)械工程系教授朱煜的關(guān)注。朱煜表示自己當(dāng)時(shí)下意識(shí)地說(shuō)：這就是我想要做的，中國(guó)必須掌握這樣的頂尖技術(shù)。
于是，朱煜帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)開始攻克工件臺(tái)這一難題。
當(dāng)時(shí)，中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)遠(yuǎn)落后于海外，光刻機(jī)分辨率停留在0.8-1微米，而海外則已經(jīng)推進(jìn)至0.1微米。同時(shí)，雙工件臺(tái)技術(shù)作為一個(gè)世界級(jí)的難題，被ASML牢牢握在手中，擺在朱煜團(tuán)隊(duì)面前的，是強(qiáng)大的技術(shù)壁壘。
而且在研發(fā)過(guò)程中，朱煜團(tuán)隊(duì)也一度因?yàn)檠邪l(fā)經(jīng)費(fèi)不足，進(jìn)度幾乎停滯。直到加入“02專項(xiàng)”，朱煜才有科研資金得以繼續(xù)研發(fā)。
2012年，為推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，朱煜等人成立華卓有限(此后該名為華卓精科)。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，朱煜團(tuán)隊(duì)的努力終于有了回報(bào)，2016年華卓精科研制成功兩套α樣機(jī)，并成為光刻機(jī)項(xiàng)目群中首個(gè)通過(guò)02專項(xiàng)驗(yàn)收的項(xiàng)目。
如今，華卓精科更是已經(jīng)打破了ASML的壟斷，成為全球“唯二”掌握高端光刻機(jī)雙工件臺(tái)的企業(yè)。在2021年，華卓精科更是將推出可用于浸沒(méi)式28nm光刻機(jī)的DWSi系統(tǒng)雙工件臺(tái)。據(jù)悉，該類雙工件臺(tái)一臺(tái)便要6000萬(wàn)元。
目前，上海微電子是華卓精科雙工件臺(tái)產(chǎn)品的唯一客戶。2019年受上海微電子采購(gòu)進(jìn)度晚于預(yù)期的影響，華卓精科該年的雙工件臺(tái)業(yè)務(wù)并沒(méi)有收入。
可以看出，客戶的單一是華卓精科雙工件臺(tái)業(yè)務(wù)的一大難題。但當(dāng)前ASML、尼康與佳能這三大光刻機(jī)巨頭，都是工件臺(tái)自研自產(chǎn)，將這一核心技術(shù)掌握在自己手中，華卓精科沒(méi)有機(jī)會(huì)從中拿到訂單。
為此，近年來(lái)，華卓精科的主要營(yíng)收正向精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)方面轉(zhuǎn)變，以支撐公司的發(fā)展。
而且，業(yè)界對(duì)于華卓精科的發(fā)展也十分看好。在今年6月，華卓精科的科創(chuàng)板上市申請(qǐng)獲得受理，有望成為光刻機(jī)第一股。
如今，中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展腳步較快，尤其是對(duì)光刻機(jī)的關(guān)注度不斷提升。在這樣的大環(huán)境下，華卓精科也更有望找到新的發(fā)展機(jī)遇。
標(biāo)簽： 光刻機(jī)巨頭
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