與荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥集團(tuán)(ASML)簽訂一份高達(dá)12億美元的訂單。

阿斯麥集團(tuán)緊隨其后“官宣”，證實(shí)中芯國(guó)際采購(gòu)的正是深紫外線光刻機(jī)(即DUV光刻機(jī))。

而在3月1日，美國(guó)國(guó)家安全人工智能委員還煞費(fèi)苦心地寫(xiě)了一份報(bào)告，讓美國(guó)政府“勸說(shuō)”荷蘭和日本，不要為中國(guó)發(fā)放芯片制造設(shè)備的許可證。

這才過(guò)了兩天，中芯國(guó)際就狠狠打了美國(guó)的臉。

原本中芯國(guó)際與阿斯麥簽署的購(gòu)買(mǎi)協(xié)議已于2020年底到期，但是兩家公司經(jīng)過(guò)協(xié)調(diào)之后達(dá)成共識(shí)，決定延長(zhǎng)此份協(xié)議的期限至今年年底。

這意味著，在美國(guó)多方位遏制打壓中國(guó)芯片制造的情況下，中國(guó)也算是踏出了突破性的一步。

中芯國(guó)際于去年開(kāi)始被美國(guó)“制裁”，美國(guó)以所謂的“與軍方有聯(lián)系”為由，要求美國(guó)半導(dǎo)體制造企業(yè)，不得向中芯國(guó)際出口產(chǎn)品和關(guān)鍵性技術(shù)。

如果中芯國(guó)際想與美國(guó)供應(yīng)商合作，必須申請(qǐng)相應(yīng)的許可證。美國(guó)不僅嚴(yán)格管控本國(guó)的企業(yè)，還把手伸向了其他國(guó)家的企業(yè)。

荷蘭的阿斯麥集團(tuán)作為半導(dǎo)體制造業(yè)的“領(lǐng)頭老大”，自然成為了美國(guó)的首要目標(biāo)。

在芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈中，光刻機(jī)是必不可少的精密設(shè)備。但因?yàn)槠鋸?fù)雜的工藝，全世界只有幾個(gè)國(guó)家的企業(yè)能生產(chǎn)頂級(jí)的光刻機(jī)。

荷蘭的阿斯麥企業(yè)在這個(gè)領(lǐng)域是實(shí)打?qū)嵉馁?。如果說(shuō)深紫外線(DUV)光刻機(jī)還有幾家企業(yè)能造，而比DUV光刻機(jī)更精密的極紫外線(EUV)光刻機(jī)，全球只有阿斯麥能造。

美國(guó)明面上沒(méi)有表示，其實(shí)暗地里多次向阿斯麥集團(tuán)施壓，阻止阿斯麥向中芯國(guó)際出口關(guān)鍵的芯片制造技術(shù)，包括設(shè)備。

雖然這份協(xié)議的延長(zhǎng)能緩解中芯國(guó)際的芯片生產(chǎn)壓力，但中芯國(guó)際對(duì)產(chǎn)品和技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展仍有很大的阻礙，因?yàn)榇舜螀f(xié)議不包括更先進(jìn)的EUV光刻機(jī)。

據(jù)阿斯麥有關(guān)人士透露，向中國(guó)出口DUV光刻機(jī)沒(méi)有問(wèn)題，但EUV光刻機(jī)的出口仍需要荷蘭政府的批準(zhǔn)。

對(duì)于外國(guó)的技術(shù)壟斷，中國(guó)也在不斷地尋求技術(shù)突破。

近日，清華大學(xué)工程物理系教授唐傳祥研究團(tuán)隊(duì)在《自然》雜志上發(fā)表了一篇論文，報(bào)告中顯示，他們完成了一種新型光源的原理驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)，這種光源名為“穩(wěn)態(tài)微聚束”(SSMB)，與極紫外線(EUV)有著密切的關(guān)系。

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，這個(gè)原理的發(fā)現(xiàn)與驗(yàn)證，將有望為制造EUV光刻機(jī)提供新的技術(shù)路線與思路。

雖然這距離中國(guó)自主研發(fā)制造EUV光刻機(jī)還有非常遙遠(yuǎn)的距離，但無(wú)疑是一個(gè)巨大的希望。這不僅將能實(shí)現(xiàn)中國(guó)自身的技術(shù)發(fā)展，還能在面對(duì)美國(guó)頻繁實(shí)施技術(shù)封鎖與打壓之時(shí)，更有底氣。

標(biāo)簽： 光刻機(jī)